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氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？
不可以的，一般我們常說(shuō)的比例閥就是電磁調節閥，雖然可以起到一定的流量調節作用，但無(wú)法做到準確，穩定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調節閥的基礎上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實(shí)現準確、穩定的流量控制，并且可以將流量信號穩定持續輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿(mǎn)足不了MFC能起到的作用。
氣體質(zhì)量流量控制器顯示方式有哪些
1、 分體二次數顯儀表。采用按鍵式的操作方式，測量的精度高，多款外形尺寸可選，雙四位的LED顯示，支持電流、電壓的輸入方式，可帶多個(gè)控制點(diǎn)、多窗口顯示，適用于流量等過(guò)程量的監測，是一款非常高的產(chǎn)品。
2、 本體觸摸按鍵顯示。在流量計本體即可進(jìn)行流量大小的調節與顯示，除了具有精度等級高，線(xiàn)性精度好以外，操作簡(jiǎn)單、便攜也是本產(chǎn)品的一大主要特點(diǎn)。
3、 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動(dòng)，人機界面，具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機交互方式,用戶(hù)只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來(lái)了很大的方便。
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